[LECTURE] 나노융복합산업기술(10/18 15:00), 삼성전자 김호철 박사
- SAINT
- Hit267
- 2024-10-18
성균나노과학기술원(SAINT)에서는 삼성전자 김호철 박사님을 모시고 나노융복합산업기술 세미나를 개최하오니 관심 있는 분들의 많은 참석 부탁드립니다.
일시: 10/18(금)15:00~
장소: 제2종합연구동 83188호
학력
B.S. in Physics at Seoul National University, 1990
M.S. in Physics at Seoul National University, 1992
Ph.D in Physics at Seoul National University, 1998
1998-now : Semiconductor R&D at Samsung Electronics
1998-now : Photo process development
1999-2000 : D19 development tf
2000-2004 : Next generation lithography (EUV, E-beam, imprint etc.)
2000-2001 : dispatched to Lucent technology, NJ
2004-2006 : Logic process development(L65, L45, dispatched to IBM; East Fishkill, NY)
2006-2008 : Flash memory process development, leading Overlay tf
2008-2010 : Lithography strategy and planning
2010-now : EUV tf, leader of introduction activity for 1st EUV scanners. EUV source specialist. Member of tf for mass production adoption of EUV scanners.
특허청심사관반도체공정교육 2020.09.14
초미세EUV노광공정
IEDM short course 강의 2019.12.08
EUV LITHOGRAPHY
중국특허청강의 2015.09.10
IEEE nano 2010 program committee
L20 foundry Photo review 2009.4
ITRS 삼성대표 2008~2009
Overlay tf 2006~2008
나노팹센터 리쏘그라피 공정강의 2010.12.20
나노팹센터 리쏘그라피 공정강의 2010.8.23
(실리콘계 나노소자/공정분야 전문인력 양성사업)
2008~2019 연세대 반도체특강
2008~2009 성균관대 반도체특강
2013 asml tech symposium
2013.11.06 롯데호텔